Libra諧振式微懸臂梁芯片
RMC-Libra
Libra諧振式微懸臂梁傳感芯片，是利用諧振式微懸臂梁的諧振頻率變化與質(zhì)量變化之間的定量關(guān)系來(lái)測(cè)量微小質(zhì)量的工具，具有靈敏度高、體積小、成本低、可集成等優(yōu)點(diǎn)，通過(guò)與不同敏感材料搭配，可制備多種多樣高靈敏的質(zhì)量型氣敏傳感器，同時(shí)也可用于熱力學(xué)/動(dòng)力學(xué)參數(shù)的測(cè)量。
該芯片是微懸臂梁氣敏測(cè)試系統(tǒng)和界面熱力學(xué)/動(dòng)力學(xué)參數(shù)分析儀的核心器件。
產(chǎn)品特點(diǎn)
- 高靈敏度：質(zhì)量檢測(cè)靈敏度優(yōu)于1.5 pg/Hz*，搭配自主研發(fā)的軟件鎖相環(huán)電路，可實(shí)現(xiàn)低至0.5 pg的超高質(zhì)量分辨率
- 系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單：片上集成電熱驅(qū)動(dòng)、壓阻檢測(cè)元件，搭配接口電路即可實(shí)現(xiàn)閉環(huán)檢測(cè)，無(wú)外置設(shè)備
- 點(diǎn)樣便捷：片上敏感區(qū)域親水，其余部分疏水，便于氣敏材料精準(zhǔn)上載
- 微小尺寸：芯片尺寸低至1.5 mm x 1 mm
技術(shù)參數(shù)
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指標(biāo)名稱 |
參數(shù) |
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型號(hào) |
RMC-Libra |
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基底材料 |
單晶硅 |
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尺寸 |
1.5 mm x 1 mm |
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諧振頻率（25℃） |
95.0±5 kHz |
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諧振頻率噪聲（25℃，氮?dú)庀拢? |
±0.1 Hz以下 |
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質(zhì)量靈敏度 |
1.0 Hz/pg ± 10% |
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功耗 |
≤25 mW |
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使用溫度 |
-40℃ ~ +120℃ |
應(yīng)用領(lǐng)域
應(yīng)用實(shí)例
