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微懸臂梁氣敏測試系統
微懸臂梁氣敏測試系統，是使用MEMS諧振式微懸臂梁傳感芯片作為敏感元件，研究功能材料氣敏性能的分析工具以及高性能氣敏傳感器的開發與測試平臺。
界面熱力學/動力學參數分析儀
界面熱力學/動力學參數分析儀，是利用MEMS諧振式微懸臂梁傳感芯片，通過“變溫微稱重法”，定量提取功能材料與氣體分子發生吸附時，表界面分子作用熱力學和動力學參數的科學分析儀器。
芯片式熱重分析儀
芯片式熱重分析儀，以MEMS自加熱諧振式微懸臂梁傳感芯片為核心，替代傳統的天平+爐管加熱方式，實現片上熱重分析功能。
原位程序升溫化學吸附分析儀
原位程序升溫化學吸附分析儀，以MEMS自控溫諧振式微懸臂梁傳感芯片為檢測核心，摒棄在尾氣氣路中檢測氣體分子的方法，實現原位實時的程序升溫分析功能。
智能動態配氣系統
智能動態配氣系統，是一款智能多路動態配氣儀器，利用質量流量控制原理將標準氣體與稀釋氣體按照一定比例進行配比、混合并輸出設定濃度氣體。具備氣路切換功能，可以將輸出氣在混合氣與背景氣間任意切換。
便攜式氫氣探測儀
便攜式氫氣探測儀，利用MEMS微加熱盤氫氣傳感芯片，可連續檢測作業環境中的氫氣濃度，具有靈敏度高、功耗低、選擇性高、使用壽命長等特點，適用于儲氫、制氫、運氫等各個涉氫場所的現場氫氣泄漏檢測應用 。
